单晶硅圆片按其直径分为6英寸、8英寸、12英寸(300毫米)及18英寸(450毫米)等。直径越大的圆片,所能刻制的集成电路越多,芯片的成本也就越低。但大尺寸晶片对材料和技术的要求也越高。
单晶硅按晶体伸长方法的不同,分为直拉法(CZ)、区熔法(FZ)和外延法。直拉法、区熔法伸长单晶硅棒材,外延法伸长单晶硅薄膜。直拉法伸长的单晶硅主要用于半导体集成电路、二极管、外延片衬底、太阳能电池。晶体直径可控制在Φ3~8英寸。
为了避免此现象的发生硅片的切割厚度也从300μm左右进一步降低,争取实现低成本高线切割及减少切缝损耗,但是难度是相当的大。因此实现太阳能晶硅电池行业生产效率的提高及生产成本的降低,对于开展寸超薄硅片切割方法的开拓与创新研究是势在必行的。
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